气相&液相炉

MCG-M10HBP 微波等离子体气相石墨烯生长炉

技术原理:该产品适用于气相法制备石墨烯材料,通过利用微波加热技术,通过微波能激发等离子体,导入气相成分,进行微波等离子体气相沉淀,在催化剂基底上生成石墨烯类碳材料产品,适用于高纯度碳材料制备,也适用于其他以含碳气相材料为原料的微波等离子体处理工艺。

相关技术

产品详情

产品特点:
1、本产品采用气相法制备石墨烯材料方式,采用微波热等离子体技术,适合石墨烯原料制备工艺研究和小批量生产。
2、本产品等离子生长腔体采用洁净石英管结构,避免生产过程中的杂质污染,确保产品品质。
3、本产品设计连续气相生长功能,采用顶部4路进气混气,底部排料的结构。
4、本产品采用真空和微正压系统设计,反应室与外界密封设计,适合微波等离子体状态。
5、本产品设置真空管路和防爆泄压结构,支持真空、气氛和微正压环境
6、本产品采用微波等离子体技术 ,功率智能调节,工艺性更稳定。
7、本产品采用PLC程序控制,触摸屏操作,工艺路线可实现自动化控制,工艺数据可读取。

技术参数

产品名称

气相石墨烯生长炉

型号

MCG-M10HBP

技术原理

微波等离子体(MPCVD)

设备形式

立式管道型,多路气氛,高真空密封

进出料形式

进料:气态/  出料:固态

反应区尺寸

Φ200*500 mm

微波系统

微波功率10kW/2450MHz,系统水冷

产成品

石墨烯粉体,产量和特性依据具体工艺要求

监控视窗

垂直三个观察窗

控制方式

PLC控制系统,彩色触摸屏操作,多参数显示

安全措施

产品气体管路系统防爆设计

微波防护

微波泄漏量:<5mW/cm2 (国标)

设备外尺寸

900×900×1700mm(长×宽×高)

18663955729 1304895408@qq.com 1304895408